1. PVD を利用したナノ粒子の製作 2. 高性能な貴金属触媒の開発 - ディーゼルエンジン用の三元触媒、燃料電池の陰極触媒 3. その他、ナノ粒子を応用して製品開発 - 抗菌糸、機能性プラスチック、飼料添加剤、抗菌フィルターなど
360 m2 (lab, office) 1. lab. scale vacuum system - Fabrication of noble metal nano particle 2. semi-pilot vacuum system - Fabrication of metal/oxide nano particle - Pre/after heat treatment of support power or nanoparticle 3. After process system of nano particle - Ultrasonic agitator, vacuum filtering system, vacuum oven
- 9 Employees - 4 Researchers (博士級:3名, 学士級: 1名) - Patent/System/Administration
- 規格
1,800 x 3,000 x 2,300 (h)
- 生産量
100 kg / batch
- 攪拌速度
0 ~ 60 rpm
- 蒸着方式 (DC)
300X100X10t mm
- 蒸着方式 (e-baem)
150 mm
4 set
- 拡散ポンプ
22 inch
2 set
- 規格
1,500 (w) x 1,800 (l) x 2,000 (h)
- 生産量
12kg / batch
- 攪拌速度
10 ~ 40 rpm (VVVF Control)
- 蒸着方式 (DC)
6 inch Cathode
Target Size 基準
- 回転ポンプ
1,500 ℓ/min
- 拡散ポンプ
18 inch